Sensor structures generated with combination of SU8 and PCBMEMS

Gassmann, S ; Luque, A; Perdigones, F; Quero, JM; Pagel, Lienhard

Tipo: Ponencia
Año de Publicación: 2013
Número de artículo: 6699119
Páginas: 108 - 112
Fuente Nº Citas Fecha Actualización
scopus401-10-2022
wos401-10-2022
Dimensions
PlumX
Altmetric
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# Autor Afiliación
1Gassmann, S Jade Univ Appl Sci (Germany)
2Luque, AUniversidad de Sevilla (Spain)
3Perdigones, FUniversidad de Sevilla (Spain)
4Quero, JMUniversidad de Sevilla (Spain)
5Pagel, Lienhard Sin datos ()