High-rate deposition of stoichiometric compounds by reactive magnetron sputtering at oblique angles

Alvarez, Rafael ; García Valenzuela, Aurelio; López Santos, Carmen; Ferrer, Francisco J.; Rico, Víctor; Guillén, Elena; Alcón Camas, Mercedes; Escobar Galindo, Ramón; González Elipe, Agustín R.; Palmero, Alberto

Tipo: Artículo
Año de Publicación: 2016
Volumen: 13
Número: 10
Páginas: 960 - 964
Acceso abierto: Vía verde
Fuente Nº Citas Fecha Actualización
scopus518-09-2021
wos518-09-2021
Dimensions
PlumX
Altmetric

Año (SCIE): 2016

Factor de Impacto (SCIE): 2.846

CategoríaEdiciónPosiciónCuartilTercilDecil
PHYSICS, FLUIDS & PLASMASSCIE4/31Q1T1D2
PHYSICS, APPLIEDSCIE39/148Q2T1D3
POLYMER SCIENCESCIE23/86Q2T1D3
PHYSICS, CONDENSED MATTERSCIE22/67Q2T1D4

SJR año:

2016

Factor de Impacto:

0.881

CategoríaPosiciónCuartilTercilDecil
Polymers and Plastics24/157Q1T1D2
Condensed Matter Physics88/399Q1T1D3
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Agencia Código de Proyecto
Junta de AndaluciaP12-FQM-2265
Spanish Ministry of Economy and CompetitivenessMAT2013-42900-P; MAT2013-40852-R; MINECO-CSIC 201560E055
Nota: los datos sobre financiación provienen de la WOS
# Autor Afiliación
1Alvarez, Rafael CSIC-USE - Instituto de Ciencia de Materiales de Sevilla (ICMS) (Spain)
2García Valenzuela, AurelioCSIC-USE - Instituto de Ciencia de Materiales de Sevilla (ICMS) (Spain)
3López Santos, CarmenCSIC-USE - Instituto de Ciencia de Materiales de Sevilla (ICMS) (Spain)
4Ferrer, Francisco J.CSIC-JA-USE - Centro Nacional de Aceleradores (CNA) (Spain)
5Rico, VíctorCSIC-USE - Instituto de Ciencia de Materiales de Sevilla (ICMS) (Spain)
6Guillén, ElenaAbengoa - Innovative technology solutions for sustainability (Spain)
7Alcón Camas, MercedesAbengoa - Innovative technology solutions for sustainability (Spain)
8Escobar Galindo, RamónAbengoa - Innovative technology solutions for sustainability (Spain)
9González Elipe, Agustín R.CSIC-USE - Instituto de Ciencia de Materiales de Sevilla (ICMS) (Spain)
10Palmero, AlbertoCSIC-USE - Instituto de Ciencia de Materiales de Sevilla (ICMS) (Spain)