Compositional characterization of silicon nitride thin films prepared by RF-sputtering

Vila, M ; Martin-Gago, JA; Munoz-Martin, A; Prieto, C; Miranzo, P; Osendi, MI; Garcia-Lopez, J; Respaldiza, MA

Tipo: Artículo
Año de Publicación: 2002
Volumen: 67
Número: 3-4
Páginas: 513 - 518
Fuente Nº Citas Fecha Actualización
scopus1104-02-2023
wos1004-02-2023
Dimensions
PlumX
Altmetric

Año: 2002

Journal Impact Factor (JIF): 0.723

CategoríaEdiciónPosiciónCuartilTercilDecil
MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARYSCIE80/173Q2T2D5
PHYSICS, APPLIEDSCIE49/71Q3T3D7

Año: 2017

Journal Citation Indicator (JCI): 0,510

CategoríaPosiciónCuartilTercilDecilPercentil
MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY165/343Q2T2D552,04
PHYSICS, APPLIED82/165Q2T2D550,61

Año:

2011

CiteScore:

2.300

CategoríaPosiciónCuartilTercilDecil
Instrumentation25/90Q2T1D3
Surfaces, Coatings and Films30/91Q2T1D4
Condensed Matter Physics146/383Q2T2D4

SJR año:

2002

Factor de Impacto:

0.494

CategoríaPosiciónCuartilTercilDecil
Instrumentation31/72Q2T2D5
Surfaces, Coatings and Films42/98Q2T2D5
Condensed Matter Physics175/333Q3T2D6
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# Autor Afiliación
1Vila, M CSIC - Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid (ICMM) (Spain)
2Martin-Gago, JACSIC - Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid (ICMM) (Spain)
3Munoz-Martin, ACSIC - Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid (ICMM) (Spain)
4Prieto, CCSIC - Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid (ICMM) (Spain)
5Miranzo, PCSIC - Instituto de Ceramica y Vidrio (ICV) (Spain)
6Osendi, MICSIC - Instituto de Ceramica y Vidrio (ICV) (Spain)
7Garcia-Lopez, JCSIC-JA-USE - Centro Nacional de Aceleradores (CNA) (Spain)
8Respaldiza, MACSIC-JA-USE - Centro Nacional de Aceleradores (CNA) (Spain)