Influence of the target and working gas on the composition of silicon nitride thin films prepared by reactive RF-sputtering

Vila, M.; Prieto, C. ; García-López, J.; Respaldiza, M. A.

Tipo: Artículo
Año de Publicación: 2003
Volumen: 211
Número: 2
Páginas: 199 - 205
Fuente Nº Citas Fecha Actualización
scopus2104-02-2023
wos2004-02-2023
Dimensions
PlumX
Altmetric

Año: 2003

Journal Impact Factor (JIF): 1,041

CategoríaEdiciónPosiciónCuartilTercilDecil
NUCLEAR SCIENCE & TECHNOLOGYSCIE6/33Q1T1D2
INSTRUMENTS & INSTRUMENTATIONSCIE12/49Q1T1D3
PHYSICS, NUCLEARSCIE13/22Q3T2D6
PHYSICS, ATOMIC, MOLECULAR & CHEMICALSCIE23/33Q3T3D7

Año: 2017

Journal Citation Indicator (JCI): 0,650

CategoríaPosiciónCuartilTercilDecilPercentil
INSTRUMENTS & INSTRUMENTATION32/69Q2T2D554,35
NUCLEAR SCIENCE & TECHNOLOGY19/40Q2T2D553,75
PHYSICS, ATOMIC, MOLECULAR & CHEMICAL21/40Q3T2D648,75
PHYSICS, NUCLEAR12/20Q3T2D642,50

Año:

2011

CiteScore:

2,300

CategoríaPosiciónCuartilTercilDecil
Instrumentation26/90Q2T1D3
Nuclear and High Energy Physics23/58Q2T2D4

SJR año:

2003

Factor de Impacto:

0,602

CategoríaPosiciónCuartilTercilDecil
Instrumentation26/72Q2T2D4
Nuclear and High Energy Physics25/49Q2T2D6
No existen datos para la revista de esta publicación.
No exiten datos para esta publicación
# Autor Afiliación
1Vila, M.CSIC - Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid (ICMM) (Spain)
2Prieto, C. CSIC - Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid (ICMM) (Spain)
3García-López, J.CSIC-JA-USE - Centro Nacional de Aceleradores (CNA) (Spain)
4Respaldiza, M. A.CSIC-JA-USE - Centro Nacional de Aceleradores (CNA) (Spain)