High energy ion characterization of sputtered AlN thin films

García López, J. ; Morilla, Y.; Respaldiza, M. A.; Clement, M.; Iborra, E.; Sanz-Hervas, A.; Sangrador, J.

Tipo: Artículo
Año de Publicación: 2003
Volumen: 12
Número: 3-7
Páginas: 1157 - 1161
Fuente Nº Citas Fecha Actualización
scopus504-02-2023
wos504-02-2023
Dimensions
PlumX
Altmetric

Año: 2003

Journal Impact Factor (JIF): 1,867

CategoríaEdiciónPosiciónCuartilTercilDecil
MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARYSCIE27/177Q1T1D2

Año: 2017

Journal Citation Indicator (JCI): 0,660

CategoríaPosiciónCuartilTercilDecilPercentil
MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS5/21Q1T1D378,57
MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY124/343Q2T2D463,99
PHYSICS, APPLIED61/165Q2T2D463,33
PHYSICS, CONDENSED MATTER24/74Q2T1D468,24

Año:

2011

CiteScore:

3,700

CategoríaPosiciónCuartilTercilDecil
Mechanical Engineering44/487Q1T1D1
Electrical and Electronic Engineering94/589Q1T1D2
Electronic, Optical and Magnetic Materials36/183Q1T1D2
General Chemistry68/351Q1T1D2
Materials Chemistry37/233Q1T1D2
General Physics and Astronomy39/190Q1T1D3

SJR año:

2003

Factor de Impacto:

1,643

CategoríaPosiciónCuartilTercilDecil
Chemistry (miscellaneous)27/353Q1T1D1
Electrical and Electronic Engineering41/455Q1T1D1
Materials Chemistry14/227Q1T1D1
Mechanical Engineering21/486Q1T1D1
Electronic, Optical and Magnetic Materials15/148Q1T1D2
Physics and Astronomy (miscellaneous)26/177Q1T1D2
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# Autor Afiliación
1García López, J. CSIC-JA-USE - Centro Nacional de Aceleradores (CNA) (Spain)
2Morilla, Y.CSIC-JA-USE - Centro Nacional de Aceleradores (CNA) (Spain)
3Respaldiza, M. A.CSIC-JA-USE - Centro Nacional de Aceleradores (CNA) (Spain)
4Clement, M.Escuela Técnica Superior de Ingenieros de Telecomunicación, Universidad Politécnica de Madrid (Spain)
5Iborra, E.Escuela Técnica Superior de Ingenieros de Telecomunicación, Universidad Politécnica de Madrid (Spain)
6Sanz-Hervas, A.Escuela Técnica Superior de Ingenieros de Telecomunicación, Universidad Politécnica de Madrid (Spain)
7Sangrador, J.Escuela Técnica Superior de Ingenieros de Telecomunicación, Universidad Politécnica de Madrid (Spain)