Influence of oxygen and argon on the crystal quality and piezoelectric response of AlN sputtered thin films

Vergara, L.; Clement, M.; Iborra, E. ; Sanz-Hervás, A.; García López, J.; Morilla, Y.; Sangrador, J.; Respaldiza, M. A.

Tipo: Artículo
Año de Publicación: 2004
Volumen: 13
Número: 4-8
Páginas: 839 - 842
Fuente Nº Citas Fecha Actualización
scopus4704-02-2023
wos4504-02-2023
Dimensions
PlumX
Altmetric

Año: 2004

Journal Impact Factor (JIF): 1.670

CategoríaEdiciónPosiciónCuartilTercilDecil
MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARYSCIE37/177Q1T1D3

Año: 2017

Journal Citation Indicator (JCI): 0,660

CategoríaPosiciónCuartilTercilDecilPercentil
MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS5/21Q1T1D378,57
MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY124/343Q2T2D463,99
PHYSICS, APPLIED61/165Q2T2D463,33
PHYSICS, CONDENSED MATTER24/74Q2T1D468,24

Año:

2011

CiteScore:

3.700

CategoríaPosiciónCuartilTercilDecil
Mechanical Engineering44/487Q1T1D1
Electrical and Electronic Engineering94/589Q1T1D2
Electronic, Optical and Magnetic Materials36/183Q1T1D2
General Chemistry68/351Q1T1D2
Materials Chemistry37/233Q1T1D2
General Physics and Astronomy39/190Q1T1D3

SJR año:

2004

Factor de Impacto:

1.325

CategoríaPosiciónCuartilTercilDecil
Electrical and Electronic Engineering45/479Q1T1D1
Materials Chemistry21/231Q1T1D1
Mechanical Engineering33/493Q1T1D1
Chemistry (miscellaneous)38/352Q1T1D2
Electronic, Optical and Magnetic Materials25/151Q1T1D2
Physics and Astronomy (miscellaneous)31/173Q1T1D2
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# Autor Afiliación
1Vergara, L.Universidad Politécnica de Madrid (Spain)
2Clement, M.Universidad Politécnica de Madrid (Spain)
3Iborra, E. Universidad Politécnica de Madrid (Spain)
4Sanz-Hervás, A.Universidad Politécnica de Madrid (Spain)
5García López, J.CSIC-JA-USE - Centro Nacional de Aceleradores (CNA) (Spain)
6Morilla, Y.CSIC-JA-USE - Centro Nacional de Aceleradores (CNA) (Spain)
7Sangrador, J.Universidad Politécnica de Madrid (Spain)
8Respaldiza, M. A.CSIC-JA-USE - Centro Nacional de Aceleradores (CNA) (Spain)