On the Deposition Rates of Magnetron Sputtered Thin Films at Oblique Angles

Alvarez, Rafael ; Garcia-Martin, Jose M.; Lopez-Santos, Maria C.; Rico, Victor; Ferrer, Francisco J.; Cotrino, Jose; Gonzalez-Elipe, Agustin R.; Palmero, Alberto

Tipo: Artículo
Año de Publicación: 2014
Volumen: 11
Número: 6
Páginas: 571 - 576
Acceso abierto: Vía verde
Fuente Nº Citas Fecha Actualización
scopus2718-09-2021
wos2518-09-2021
Dimensions
PlumX
Altmetric

Año (SCIE): 2014

Factor de Impacto (SCIE): 2.453

CategoríaEdiciónPosiciónCuartilTercilDecil
PHYSICS, APPLIEDSCIE35/144Q1T1D3
PHYSICS, FLUIDS & PLASMASSCIE7/31Q1T1D3
PHYSICS, CONDENSED MATTERSCIE19/67Q2T1D3
POLYMER SCIENCESCIE25/82Q2T1D4

SJR año:

2014

Factor de Impacto:

0.856

CategoríaPosiciónCuartilTercilDecil
Polymers and Plastics27/154Q1T1D2
Condensed Matter Physics101/395Q2T1D3
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Agencia Código de Proyecto
Junta de AndaluciaP09-CTS-5189; TEP5283; P12-FQM-2265; FQM-6900
Spanish MINECOCSD2008-00023; MAT2010-21228; MAT2010-18447; MAT2011-29194-C02-01
Nota: los datos sobre financiación provienen de la WOS
# Autor Afiliación
1Alvarez, Rafael Universidad de Sevilla (Spain)
2Garcia-Martin, Jose M.IMN-Instituto de Micro y Nanotecnología (CNM-CSIC) (Spain)
3Lopez-Santos, Maria C.Universidad de Sevilla (Spain)
4Rico, VictorUniversidad de Sevilla (Spain)
5Ferrer, Francisco J.Junta de Andalucía (Spain)
6Cotrino, JoseUniversidad de Sevilla (Spain)
7Gonzalez-Elipe, Agustin R.Universidad de Sevilla (Spain)
8Palmero, AlbertoUniversidad de Sevilla (Spain)