Nanometric resolution in glow discharge optical emission spectroscopy and Rutherford backscattering spectrometry depth profiling of metal (Cr, Al) nitride multilayers

Escobar Galindo, Ramón ; Gago, R.; Forniés, E.; Muñoz-Martín, A.; Climent Font, A.; Albella, J. M.

Tipo: Artículo
Año de Publicación: 2006
Volumen: 61
Número: 5
Páginas: 545 - 553
Fuente Nº Citas Fecha Actualización
scopus1804-12-2021
wos1604-12-2021
Dimensions
PlumX
Altmetric

Año (SCIE): 2006

Factor de Impacto (SCIE): 3.092

CategoríaEdiciónPosiciónCuartilTercilDecil
SPECTROSCOPYSCIE7/39Q1T1D2

Año:

2011

CiteScore:

5.800

CategoríaPosiciónCuartilTercilDecil
Atomic and Molecular Physics, and Optics8/141Q1T1D1
Instrumentation3/90Q1T1D1
Analytical Chemistry12/86Q1T1D2
Spectroscopy8/54Q1T1D2

SJR año:

2006

Factor de Impacto:

1.289

CategoríaPosiciónCuartilTercilDecil
Instrumentation6/74Q1T1D1
Analytical Chemistry15/86Q1T1D2
Atomic and Molecular Physics, and Optics17/128Q1T1D2
Spectroscopy11/56Q1T1D2
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# Autor Afiliación
1Escobar Galindo, Ramón CSIC - Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid (ICMM) (Spain)
2Gago, R.Universidad Autónoma de Madrid (Spain)
3Forniés, E.CSIC - Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid (ICMM) (Spain)
4Muñoz-Martín, A.Centro de Micro-Análisis de Materiales y Parque Científico de Madrid (Spain)
5Climent Font, A.Universidad Autónoma de Madrid (Spain)
6Albella, J. M.CSIC - Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid (ICMM) (Spain)