Optimización de un reactor de plasma por onda de superficie para la deposición de láminas delgadas

Referencia: HP2002-0102

Tipo: Ayuda
Programa financiador: OPN - Acciones Integradas
Entidad financiadora: Ministerio de Ciencia y Tecnología
Ámbito: Nacional
Convocatoria competitiva: No
Fecha de inicio: 01/01/2003
Fecha de fin: 30/12/2004
Miembros del Ayuda
Nombre Rol
Cotrino Bautista, José Responsable
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Nota: la fuente de financiación de las publicaciones se ha obtenido de WOS